微區(qū)衍射

　　X射線衍射（XRD）分析小樣品或大樣品的微小區(qū)域通常被稱為微區(qū)衍射。當(dāng)樣品非常小，傳統(tǒng)衍射儀的光路和精度無法滿足測量要求時(shí)，采用微區(qū)X射線光路反映樣品上衍射分布信息。精確的定位能力使X射線微小光束準(zhǔn)確照在樣品表面，獲得的信息作為衍射功能圖(DFM)。衍射數(shù)據(jù)庫包括化合物鑒定，晶體取向，應(yīng)力，結(jié)晶度，晶粒尺寸。在材料研究和制造領(lǐng)域微區(qū)衍射發(fā)展迅速，由于小區(qū)域會影響產(chǎn)品成品率和可靠性。微區(qū)衍射分析應(yīng)用包括：組合化合物庫，地質(zhì)樣品中夾雜物，金屬或塑料部件的失效分析和工廠質(zhì)量控制(QC)。

系統(tǒng)